５"６"８"ラインのサバイバルプラン
半導体製造装置オンライン・自動化インタフェース

Ｉｎｔｅｌｌｉｎｏは、自動化対応していない半導体製造装置を、新発想のバーチャルロボットオペレーション自動化機構を用いてオンライン化・自動化を行う装置です。