オンライン・自動化とは
判っているようで判っていないオンライン・自動化のメリット。
多くのユーザはオンライン・自動化すればそれだけで効果が出る、と思われています。
本当にそうでしょうか?
例えば、我々が知っているオンライン化の罠。
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レシピ選択は自動化されたが、LOT投入位置を間違えてしまいレシピミスと同じ結果。
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オンライン化により、1LOT2キャリアと1LOT1キャリアの混成作業ができない。
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モニター・ダミーウエハを混在したLOT編成管理ができない。
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ローダーに空きがあるのに処理が完全に終了しないとオンラインで連続投入できない。
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装置のオンライン・自動化はできたが、MESとの連係ができない。
さらに、深い話では
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装置改造したがソフトバージョンがうまく合わず、動作が安定しない。
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自動化装置と非自動化装置での運用が大きく異なり、混乱して間違いが発生する。
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導入改造で装置内部品を大幅に入れ替え、条件出しが再度必要となってしまった。
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装置寿命よりも改造コストの償却期間の方が長くなってしまった。
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オンライン・自動化を実施中に経営環境の激変から投資がSTOPしてしまった。
枚挙にいとまなく、ハードルの高さは尋常ではありません。
課題に対して優先順位をつけ、一つずつ克服して成果を短期間で確認することが重要なはず。
Intellinoはそのための有効手段の一つです。