Ｉｎｔｅｌｌｉｎｏとは

Ｉｎｔｅｌｌｉｎｏは、自動化対応していない半導体製造装置を、オンライン・自動化する装置です。
一般的にオンライン・自動化は、半導体製造装置を製造したメーカがオプションで行うものでした。

しかしながら、5インチ・6インチの製造ラインでは簡単には実施できませんでした。
以下に考えられる主な理由を挙げてみます。
！　使用している装置が古く、既にメーカサポートの対象外となっている。
！　中古販売で購入しているため、メーカの正規サポートが受けにくい。
！　オンライン・自動化にかかる装置改造コストが膨大な金額となる。
！　MESがオンライン・自動化対応になっておらず、MESまで考えると導入が困難。
！　小規模ラインであるため、MESを使わず自社サーバで実施しているので接続ができない。
！　同じ工程の装置でも年代は多種多様で、1〜2台のオンライン化では効果について疑問が残る。
！　自動化は進んでいるが、どうしても対応できない装置があり、工程のボトルネックになっている。

確かに理由は様々です。いずれも重い課題で、簡単に対応できる内容ではありません。
しかしながら、インテリーノはバーチャルロボットオペレーション機構により、これら課題を解決することができるのです。

バーチャルロボットオペレーション機構とは、簡単に言うとIntellinoがあなたの代わりに目となり手となり、そして頭となって装置を自動制御する、そんな新発想の自動化機構です。