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プログラムレスの簡単設定で SECSによる装置自動化を実現 |
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CIMOPERATORは、三菱電機製のMELSEC C言語コントローラによる、半導体製造装置の専用通信手順として規格化されているSECS 通信を簡単な設定のみ（プログラムレス）で可能にするパッケージソフトウェアです。 |
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「 日経ボード情報2007冬号(NIKKEI BOAD GUIDE) ｣に 三菱電機株式会社様シーケンサ(C言語コントローラの広告で弊社製品「CIMOPERATOR」) が掲載されました。 日経ボード情報2007年冬号掲載[ pdfダウンロード：792KB ] |
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