|
|
| Unifellinoはこんな問題を解決します。 |
| ・MESが高価で導入できない |
| ・自社運用のホストのため、製造装置と自動連携できない |
・拡散炉などバッチ編成やロット分割ができない
|
| ・膜厚/線幅などの生産データをプロセスに活かせない |
|
| 自動化を諦めてませんか？ |
| 自動化といえばMESとの連係が必須というのが今までの常識でした。 |
| Unifellinoは自動化連係機能を持たない生産/工程管理サーバでも自動化を可能としました。 |
|
| MESやホストとのI/Fが特殊だったり改造が難しい場合などにも対応可能です。 |
| ・装置自動化機構を持たない生産管理サーバとDB・ファイル連係して自動化可能 |
| ・生産管理サーバでレシピを管理していなくてもレシピ条件を抽出可能 |
| ・メーカ・工程を問わず接続可能なブロック・コントロール・システム |
| ・セルコントローラと接続して自動搬送にも対応可能 |
|
| バッチ編成などの運用は？ |
| MESがない場合、バッチ編成はライン内の運用で対応しているのでは？ |
| それでは異レシピ・異パラメータの混入は防げません。そのため、ロットインとバッチ編成 |
| 機能を持つことで運用に対応した自動化を可能としました。 |
| ・レシピ毎に前回プロセスパラメータを記憶して入力支援 |
| ・ロットイン機能にて同一レシピのバッチ編成が可能 |
| ・工程内製造装置の稼働状況を表示 |
・プロセス実績データをIntellinoから収集
|
|
| APC/SPCとの連動は？ |
| Unifellinoは、メーカや型式の異なる装置なども含めて自動化が可能です。 |
| そのため、膜厚計やSEMからの測定データをSPCやAPCに取り込み、その解析結果から |
|
| デポパラメタを設定したり、規格判定も可能です。 |
| ・工程内検査装置と連係して処理結果から規格判定 |
| ・膜厚計やSEMと連動して成膜時間や露光時間を自動設定 |
| ・拡散工程デポパラメータ自動設定などが可能 |
|
